當前位置：岱美儀器技術服務（上海）有限公司>>晶圓缺陷檢測系統>>nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統

nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地上海

在線詢價收藏產品

聯系方式：卜先生查看聯系方式

更新時間：2022-08-16 11:55:13瀏覽次數：389次

聯系我時，請告知來自儀表網

產品分類 品牌分類

  晶圓缺陷檢測系統

全部產品列表

暫無信息

岱美儀器技術服務（上海）有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：100條

所在地區：上海上海

聯系人：卜先生

詢價 給他留言

產品簡介

本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷

詳細介紹

本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學系統。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結果。
nSpec LS是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發展，配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
·基板，外延和圖案化晶圓
·透明和不透明的材料
·在膠片膠帶，托盤，凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
·光罩
·樣品碎片
2. 系統特征
·多種分辨率設置，范圍從0.25 µm及更高
·快速掃描
·可定制的缺陷報告
·各種樣品夾頭可滿足特定需求
·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
·檢查和審查程序
·多系統同步
·占地面積小，設施要求zui少
·機架安裝控件
3. 系統參數
重量：318 kg
外觀尺寸(W x D x H)：53 cm x 133 cm x 176 cm
zui小氣壓：24 in. Hg (70 kPa)
電源：110v/220v, 3.5 amps
光學器件：
照明模式：Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
光源：白光LED（也可選其他）
物鏡倍率：2.5, 5, 10, 20, 或50x，用戶可選
工作臺：
典型行程：200 mm，X和Y方向
定位：帶有閉環編碼器的線性伺服電機（分辨率為50 nm）
重復性：+/- 0.5 µm

行程平整度：30 µm

結構：精密地面滾道和交叉滾子軸承
支撐平臺：顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
中心負載能力：2.27 kg
重量：11.33 kg
尺寸(W x D x H)：35 cm x 37 cm x 4 cm
備選功能：
AFM原子力顯微鏡：可根據要求提供規格
SECS/GEM
透射光
自動傳送晶圓片