詳細摘要: 一、設備簡介1、應用范圍自動晶圓幾何形貌及參數檢測系統使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌...
產品型號:所在地:上海更新時間:2023-03-28 在線留言岱美儀器技術服務(上海)有限公司
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