M系列氣體質量流量計
美國艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美國成立，是杰出的質量流量和壓力解決方案廠商，隸屬于英國豪邁(Halma)集團環(huán)境與分析事業(yè)部，榮膺“年度子公司獎”、“業(yè)務拓展增長獎”和“豪邁創(chuàng)新獎”。
Alicat產(chǎn)品采用層流差壓式原理，擁有LFE技術，憑借航天級水準，長期支持美國航天局(NASA)、SpaceX火箭項目，并為科研及工業(yè)領域提供快捷、穩(wěn)定的技術解決方案。
產(chǎn)品類型：氣體或液體質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
客戶行業(yè)：實驗科研、環(huán)境保護、生物醫(yī)藥、過程控制、能源化工、半導體以及相關的公共事業(yè)。
應用領域：計量檢測、泄漏測試、生物發(fā)酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。
實時完成高精度多元流量測量
M系列氣體質量流量計同時實時測量質量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度，可用流量量程跨度寬，內置多種氣體校準，使得這款流量計成為您實驗室的明星設備。

• 準確。流量測量具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。
• 使用簡單。只要您打開流量計，流量計便能顯示您所選工藝設備中的實時流量、壓力和溫度讀數(shù)。
• 連接。艾里卡特M系列氣體流量計默認采用數(shù)字與模擬兩種通訊方式；訂購時，可選擇以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊，方便與您的數(shù)字工業(yè)或實驗室網(wǎng)絡整合。

過濾器性能測試
利用壓力控制器使過濾器維持一定差壓，通過流量與壓損對比曲線圖，確定過濾器性能。質量流量計顯示的流量讀數(shù)即為克服壓損所需要的流量。
快速泄漏測試
精確測量目標設備的壓力，采用配有遠程傳感端口的艾里卡特PC3系列壓力控制器控制目標設備的壓力，以判斷是否泄漏。該方案消除了質量流量計以5ms響應速度測量泄漏率過程中產(chǎn)生的壓損。
更多產(chǎn)品信息請查看質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù) 0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù) 0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數(shù)：5-10ms
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98（MB系列）或130（MBS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至 60°C
• 大內部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 大差壓（進口至出口）：75 psid
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

• M系列氣體質量流量計（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件

型號變體

• 低壓損型號，多60 psia（MW系列）
• 高壓型號，160-320 psia（MQ系列）
• 腐蝕性氣體型號（MS系列，見下文）
• 配有可充電電池的便攜式型號（MB系列）

腐蝕性氣體（MS系列）
M系列氣體質量流量計中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MS系列）可供選擇。該配置中，我們將流量儀表主體部分和傳感器升級為316L不銹鋼材質，將彈性體材料升級為FFKM。
結構選項

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

• 流量累加器
• 高精度或自定義校準