中文名高真空離子濺射儀外文名SputterCoaster特點(diǎn)自動(dòng)洗靶，自動(dòng)濺射范圍不使用膜厚監(jiān)控多循環(huán)9次1使用膜厚監(jiān)控1.打開(kāi)總電源，打開(kāi)氬氣開(kāi)關(guān)（兩成保持在0.035Mpa左右，濺射時(shí)也要注意氬氣的流量）。2.按主機(jī)背面的開(kāi)關(guān)按鈕，進(jìn)入開(kāi)機(jī)界面，根據(jù)提示進(jìn)行下面一系列的操作。3.接下來(lái)儀器就開(kāi)始自動(dòng)洗靶，自動(dòng)濺射，濺射結(jié)束后要稍等片刻，然后按stop放氣。待放氣操作完成后，開(kāi)蓋，取出樣品。4.TargetBtype操作同上。2不使用膜厚監(jiān)控1.其余操作步驟同上，但要根據(jù)自己的需要設(shè)置濺射電流和濺射時(shí)間（長(zhǎng)時(shí)間是4min），和循環(huán)次數(shù)（多循環(huán)9次），按上下鍵設(shè)置時(shí)間。2.接下來(lái)儀器就開(kāi)始自動(dòng)詳情>>
離子濺射儀價(jià)格
