壓阻式壓力傳感器原理
壓阻式壓力傳感器通常是半導體壓敏材料。半導體壓阻式傳感器在受到外力后,自身的幾何形狀幾乎沒有什么改變,而是其晶格參數發生改變,影響到禁帶寬度。禁帶寬度哪怕是非常微小的改變,都會引起載流子密度很大的改變,這最終引起材料的電阻率發生改變。
壓阻壓力傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發生變化,通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。它又稱為擴散硅壓阻壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。