熱式氣體質量流量控制器簡稱MFC（Mass Flow Controller），熱式氣體質量流量計簡稱MFM（Mass Flow Meter），MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置，而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置。

      目前國內使用廣泛的是熱式氣體質量流量控制器即MFC，熱式氣體質量流量控制器的主要原理是：在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量。熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

      成都松盛測控生產的熱式氣體質量流量控制器與質量流量計能使用于：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10等絕大多數氣體。主要用于：石油化工、半導體行業、氣體分配系統、燃料電池、實驗室氣體檢測，具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。