蘇州納光電子科技有限公司
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激光共焦顯微鏡OLS5000激光共焦顯微鏡可測量亞微米級的形貌和表面粗糙度
激光共焦顯微鏡 OLS5000激光共焦顯微鏡可測量亞微米級的形貌和表面粗糙度。數據采集比奧林巴斯以前的顯微鏡型號快四倍，從而大大提高了生產效率。 高分辨率，成像 憑借對各種類型樣品進行3D測量的能力，系統可提供用于質量保證和工藝控制的可靠數據。 該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，終實現生產力的提升。 應用： · MEMS掃描PEAK算法 · 雙共焦系統 · Sq噪聲（測量噪聲）保證 · 準確性和重復性均可保證 · 混合匹配算法 · 混合阻尼機構 · HDR掃描 型號 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF 總倍率 54x - 17,280x 視場直徑 16 μm - 5,120 μm 測量原理 光學系統 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 光接收元件 激光 ：光電倍增管（2ch） 高度測量 顯示分辨率 0.5 納米 動態范圍 16 位 重復性 n-1 *1 *2 *5 5X : 0.45 μm, 10X : 0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm 準確度 *1 *3 *5 0.15 + L/100μm（L: 測量長度 [μm]） 拼接圖像準確度 *1 *3 *5 10X ： 5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率 : 1.0+L/100 μm（L: 拼接高度 [μm]） 測量噪聲（Sq 噪聲） *1 *4 *5 1 納米 寬度測量 顯示分辨率 1 納米 重復性 3 n-1 *1 *2 *5 5X : 0.4 μm, 10X : 0.2 μm, 20x : 0.05 μm, 50X : 0.04 μm, 100X : 0.02 μm 準確度 *1 *3 *5 測量值 +/- 1.5% 拼接圖像準確度 *1 *3 *5 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm（L: 拼接長度 [mm]） 圖像解析度 4096 x 4096 圖像拼接像素 3600 萬像素 XY 載物臺配置 長度測量模塊 ? 無 無 ? 無 移動范圍 100 x 100 mm 100 x 100 mm 300 x 300 mm 100 x 100 mm 100 x 100 mm 樣品高度 100 mm 40 mm 37 mm 210 mm 150 mm 激光光源 波長 405 nm 輸出 0.95 mW 激光安全等級 2 級 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) 白光光源 白光 LED 電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W 質量 顯微鏡主體 約 31 公斤 約 32 公斤 約 50 公斤 約 43 公斤 約 44 公斤 控制箱 約 12 公斤 
反射式共焦激光掃描激光 -DIC 顯微鏡
彩色
彩色 DIC
彩色 ： CMOS 彩色相機
電動
手動
電動
電動
手動
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