激光氣體分析儀LG-117堀場HORIBA

激光氣體分析儀LG-117堀場HORIBA

激光氣體分析儀LG-117，四極質譜儀MPA8-7-2/65C，MPA8-5-2/100C，MPA8-1-4/300C，SMPA8-1-2/100CR，SMPA8-7-2/65C，SMPA8-5-2/100C，SMPA8-1-4/300C，SMPA8-1-2/100KR，SMPA8-7-2/65K，SMPA8-5-7/100K，SMPA8-1-4/300K，在線氣體監測儀IR-427，IR-437，IR-422，IR-432，氣體濃度監測器IR-312M，IR-314M，IR-315M，IR-322M，IR-324M，IR-322MB，IR-324MB

產品介紹

激光氣體分析儀LG-117

LG-100系列可以實時測量半導體制造中的蝕刻過程所生成的SiF4（四氟化硅）分壓※1的變化。通過這個變化量，可以判斷蝕刻是否達到規定的深度（端點※2）。這有助于減少過度蝕刻和不足蝕刻的風險，提高半導體制造過程的生產力和良率。

本產品搭載了2021年開發的HORIBA獨自的紅外氣體分析技術「IRLAM(アーラム)TM」，實現了對ppb級別的微量氣體進行高靈敏度且高速（0.1秒）的測量。這將有助于判斷向邏輯半導體量產所需的GAA晶體管結構和高aspectratio的接觸孔形成等先進技術的端點。

四極質譜儀

Micropole系統是世界的質譜儀。它由9個四極桿部件構成的結構傳感器，用戶可以輕松更換，只需輸入傳感器相關的參數即可進行校準。與普通的質譜儀相比，它在低真空（高壓力）區域運行，不需要額外的設備。它非常適合于真空腔的條件管理和過程監控。

特征

業界最小尺寸

相比其他公司縮小20倍，傳感器部分僅5厘米大小。非常適合裝置組裝。

獨自構造傳感器

16根電極棒構成9個四極部，盡管尺寸最小，但實現了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

如果測量范圍在全壓0.5Pa以內（2-65m/z傳感器的情況），則不需要準備額外的差動排氣系統。

用戶可以進行傳感器更換

無需拆卸機器，即可在現場輕松更換校準過的濾波器。

通信

可以從安裝了隨附軟件的1臺PC通過RS-485通信連接8臺。此外，還配備了適合裝置組合的模擬輸入輸出。

專用軟件

為QL-SG02開發的用戶友好型MicropoleScannerTM2軟件可以控制QL-SG02，獲取和可視化數據并進行分析。

在線氣體監測儀IR-400系列

半導體制造的成膜工藝隨著微細加工的進步，保持處理后的腔室處于清潔狀態被認為是提高生產力的關鍵。IR-400Series是一種用于成膜工藝腔室清潔的終點檢測監測器，能夠實時監控排氣成分（SiF4、CF4）。它優化了干法清潔的終點檢測，減少了清潔氣體的使用量和時間，降低了腔室損壞，從而延長了部件的使用壽命。

氣體濃度監測器IR-300系列

用于氣相生長的氣態濃度監測。確保材料氣體的穩定供應。

在LED制造過程和光器件制造過程中廣泛使用的MOCVD（有機金屬氣相生長法）。這種MOCVD裝置使用液體/固體材料，通常通過氣泡方式將氣體供應到腔室內。為了實現穩定的成膜過程，材料氣體供應線路中實時氣體濃度監測是重要的。氣體濃度監測IR-300系列被引入MOCVD裝置的材料氣體供應線路中，實現了線路的高速氣體濃度監測。支持材料氣體的穩定供應