氦質譜檢漏儀是氣體工業名詞術語，用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦起反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

 

    氦質譜檢漏儀產品特點

 

    1、大抽速：采用2.5米3/小時抽速的德國leybold真空泵做前級;具有高啟動壓強的半磁懸浮新型復合分子泵(leybold)抽速為90升/秒（免維護周期5-7年）。

 

    2、超穩定的漏率信號值，即使在10-12毫巴升/秒時也非常穩定。因為：

 

    Ø180o磁偏轉雙聚焦不銹鋼質譜室；

 

    Ø長效雙離子源燈絲（鍍釔銥絲），保修3年；

 

    ØI-CAL智能漏率計算程序。

 

    3、卓越而簡單的結構設計：

 

    Ø采用3個入口的真空系統使檢漏模式更加優化；

 

    Ø實現分流模式與逆流模式檢漏的更佳組合；

 

    Ø簡化的結構使儀器使用更方便，性價比更高；

 

    Ø由上至下的獨特通風方式，令儀器散熱更好并保持儀器內的潔凈。

 

    4、更快的檢漏速度：

 

    Ø高分子泵抽速和壓縮比，使得氦本底信號清除更快；

 

    Ø分子泵對進氣口的抽速高；

 

    Ø獨特的I–CAL（智能漏率計算程序）可避免長的漏率信號穩定時間；

 

    Ø動態信號過濾器保證漏率變化時檢漏儀最快，最穩定的信號顯示。

 

    5、方便使用：

 

    Ø全自動檢漏，并可在待用或測量模式下自動校準；

 

    Ø可通過電子郵件下載，更新軟件。

 

    6、內置TL7漏孔

 

    Ø受溫度變化影響0.3%，不需要溫度補償，壽命5-7年。

 

    7、氦質譜檢漏儀使用方便

 

    Ø最小可檢漏率提高至<1x10-12毫巴x升/秒；分子泵抽速更大，便于快速抽空，快速清空，提高了工作效率；超大的液晶顯示屏，可以兼顧觀看漏率值、真空度、和漏率譜峰圖等多個參數；八個功能鍵分布兩側，方便用戶操作和查看參數，軟件功能更加強大；

 

    Ø含中文在內的九種語言操作界面，方便國內用戶操作。